La nouvelle famille de filtres à cartouche à fort débit Guardian(R) d'Entegris, Inc. (Nasdaq : ENTG) est conçue pour ne pas réagir à une large gamme d'additifs de revêtement métallique, améliorer la capacité de rétention de particules et prolonger la durée de vie. Les cartouches-filtres ECD Guardian sont idéales pour les procédés de dépôt électrochimique de haute pureté, tels que le cuivrage, le nickelage, et la dorure.

« Les filtres ECD Guardian réduisent les coûts des traitements de pointe actuels grâce à leur technologie de membrane exclusive », a déclaré Chad Ruwe, vice-président du segment de contrôle de microcontamination liquide d'Entegris.

Les filtres ECD Guardian présentent une structure de pore de membrane optimisée et sont munis de membranes PolySulfone (PES) exclusives qui ne réagissent pas à une variété d'additifs de bain galvanoplastique, éliminant ainsi les effets susceptibles de nuire à la qualité du procédé. Cette membrane hydrophilique sans pareil réduit la formation de microbulles pendant le traitement des plaquettes, un contributeur important aux défauts des plaquettes.

La cartouche-filtre ECD Guardian, disponible en dimensions de pore de 0,1um-0,05um, est compatible avec la plupart des bâtis, se pose rapidement, et ne nécessite aucune procédure de pré-trempage ou de rinçage pour les démarrages rapides. Sa zone de filtre haute et sa conception optimisée de l'écoulement permettent également de prolonger la durée de vie et réduisent le temps d'indisponibilité associé aux remplacements. Le filtre fournit une plage de température de service maximale de 60 degrés C (140 degrés F).

À PROPOS D'ENTEGRIS

Entegris (qui a fusionné avec Mykrolis en août 2005), le leader mondial en gestion d'intégrité des matériaux, fournit une vaste gamme de produits pour purifier, protéger et transporter les matériaux cruciaux utilisés pour le traitement et la fabrication dans le secteur des semi-conducteurs et dans d'autres secteurs de haute technologie. La société Entegris est certifiée ISO 9001 et possède des installations de fabrication, de service après-vente et de recherche aux États-Unis, en Chine, en France, en Allemagne, au Japon, en Malaisie, à Singapour, en Corée du Sud et à Taiwan. Pour en savoir plus, veuillez consulter le site www.entegris.com.