"Tous les systèmes sont entièrement rétablis", a déclaré la société, ajoutant que la cause de la panne fait actuellement l'objet d'une enquête.
La panne, qui a contraint certains employés à travailler à distance, a été rapportée pour la première fois par le journal néerlandais Eindhovens Dagblad.
Le mois dernier, ASML, l'un des principaux fabricants d'équipements de semi-conducteurs au monde, a publié prématurément ses résultats du troisième trimestre pendant les heures de cotation, une demi-journée plus tôt que prévu, attribuant l'incident à une "erreur technique".
ASML fournit des équipements de fabrication de puces à des entreprises telles que Samsung Electronics et TSMC, qui fabrique des puces pour Nvidia.