KLA Corporation a annoncé le lancement du système révolutionnaire de métrologie par rayons X Axion® T2000 destiné aux fabricants de puces mémoire de pointe. La fabrication de puces NAND et DRAM 3D implique la formation précise de structures extrêmement hautes avec des trous et des tranchées profondes et étroites, et d'autres formes architecturales complexes u tout cela exige un contrôle à l'échelle nanométrique. Le T2000 de Axion est doté de technologies brevetées qui lui permettent de mesurer les caractéristiques des dispositifs à rapport d'aspect élevé avec une combinaison sans précédent de résolution, d'exactitude, de précision et de vitesse.

En découvrant les petites anomalies de forme qui peuvent avoir un impact sur les performances des puces mémoire, l'Axion T2000 contribue à assurer la réussite de la production des puces mémoire utilisées dans des applications telles que la 5G, l'intelligence artificielle (IA), les centres de données et l'informatique périphérique. L'Axion T2000 est un système CD-SAXS (critical-dimension small angle X-ray scattering), qui s'appuie sur des technologies de rayons X uniques dans l'industrie pour produire des mesures haute résolution des dimensions critiques et des formes 3D des caractéristiques des dispositifs de mémoire. Une source à haut flux fournit des rayons X qui se transmettent à travers toute la structure verticale de la mémoire, quelle que soit sa hauteur actuelle ou future, ce qui permet de mesurer les formes complexes des dispositifs.

Une platine à gamme dynamique permet d'obtenir des images de diffraction sous plusieurs angles pour restituer des informations géométriques 3D riches. Les nouveaux algorithmes AcuShape® facilitent la mesure de nombreux paramètres critiques du dispositif et l'extraction de variations subtiles qui peuvent affecter la fonctionnalité finale de la puce mémoire. Grâce à ces innovations, le Axion T2000 produit de manière non destructive les données de métrologie dimensionnelle nécessaires pour aider les fabricants de mémoire à optimiser, surveiller et contrôler les étapes clés du processus en ligne.