Lam Research Corporation a annoncé une nouvelle suite de produits de gravure sélective qui appliquent des techniques de fabrication de plaquettes révolutionnaires et de nouveaux produits chimiques pour aider les fabricants de puces à développer des structures de transistors GAA (gate-all-around). Composé de trois nouveaux produits – ; Argos® ;, Prevos׫ ; et Selis® ; – ; le portefeuille de gravure sélective de Lam㝂 fournit un avantage puissant dans la conception et la fabrication de solutions semi-conductrices avancées de logique et de mémoire. Les solutions de gravure sélective de Lam offrent la sélectivité ultra-haute et accordable ainsi que l'enlèvement sans dommage des matériaux nécessaires à la formation de nanofeuilles ou de nanofils logiques avancés, permettant aux fabricants de puces de faire le prochain saut évolutif des structures planaires aux structures tridimensionnelles pour la DRAM, qui atteint sa limite d'échelle planaire. Le portefeuille de gravure sélective de Lam est composé de trois nouveaux outils : Argos, doté de la technologie révolutionnaire MARS㬱 (Metastable Activated Radical Source), modifie et décontamine de manière sélective les surfaces des plaquettes. Ses capacités de traitement et de conditionnement permettent aux fabricants de puces de traiter les surfaces des plaquettes avec précision, les optimisant pour des performances optimales. Prevos permet de graver avec une précision de couche atomique et une très haute sélectivité l'oxyde, le silicium et le métal en combinant de nouveaux produits chimiques et une technologie de vapeur innovante avec un contrôle agile de la température. Prevos s’appuie sur une nouvelle solution technologique chimique exclusive développée par Lam ; d’autres produits chimiques peuvent être ajoutés pour répondre aux besoins de production des fabricants de puces. Selis utilise de manière unique des capacités de gravure radicale et thermique pour permettre une gravure sélective ultra-haute avec un contrôle uniforme du processus de haut en bas sans endommager la structure de la plaquette. Prevos et Selis peuvent également être livrés en tant qu’outil unique et intégré pour fournir une gravure sélective multicouche unique, un meilleur contrôle des temps d’attente et une flexibilité de production maximale.