CyberOptics Corporation exposera au salon SEMICON West 2022 HYBRID, qui se tiendra du 12 au 14 juillet 2022 au Moscone Center de San Francisco et en ligne 24 heures sur 24, 7 jours sur 7. La société lancera sa nouvelle génération de WaferSense® Auto Teaching System׫ ; (ATS2) et son nouveau ReticleSense® Auto Teaching System׫ ; (ATSR) au stand n°1241. L'ATS2 et l'ATSR sont des capteurs multi-caméras utilisés avec le logiciel CyberSpectrum׫ ; pour enseigner l'étalonnage précis du transfert des wafers et des réticules pour un alignement et une configuration corrects des outils pour semi-conducteurs. Les capteurs "voient" à l'intérieur pour capturer les données tridimensionnelles de décalage (x, y et z) en temps réel afin d'enseigner rapidement les positions de transfert des plaquettes et des réticules - le tout sans ouvrir les outils.

Les ingénieurs de processus et d'équipement peuvent effectuer des réglages et des contrôles de maintenance répétables et reproductibles, accélérer le dépannage et éliminer les variations entre techniciens. CyberOptics présentera également les capteurs WaferSense® pour le nivellement, les vibrations, l'espacement, l'humidité relative, la résistance et les particules en suspension dans l'air.