Actionnariat Axcelis Technologies, Inc.

Axcelis Technologies, Inc. est principalement un fabricant d'équipements d'implantation ionique utilisés dans la fabrication de puces semi-conductrices aux États-Unis, en Europe et en Asie. La société se concentre sur le développement d'applications de processus clés par la conception, la fabrication et le soutien complet tout au long du cycle de vie des systèmes d'implantation ionique, l'une des étapes fondamentales du processus de fabrication des circuits intégrés. Les produits de la société comprennent les modèles High Current, Medium Energy, High Energy, Mid Current et GSD Ovation. Les implanteurs ioniques à courant élevé de nouvelle génération Purion H6 de la société assurent le contrôle des processus en tirant parti de leur architecture à faisceau ponctuel, optimisée pour l'ensemble des applications à courant élevé. Le Purion H200 de la société est son implanteur de pointe à haute intensité et moyenne énergie pour plaquettes individuelles. Ses implanteurs ioniques à haute énergie de la série Purion XE utilisent la technologie d'accélérateur linéaire RF (LINAC). Les implanteurs ioniques Purion M de la société proposent la gamme la plus large de doses à intensité moyenne disponible.