STMicroelectronics N : EMAS Declaration ST Crolles (2023 performance)

Sommaire

1. Avant-propos
2. Présentation de STMicroelectronics
3. Extrait de la Charte
   du développement durable 2021-2027

10Informations générales sur le site de Crolles

1. Missions du site de Crolles

1. Historique
2. Effectif du site
3. Exigences réglementaires
4. Tableau des activités de l'Arrêté Préfectoral
5. Le Système de Management Santé, Sécurité, Environnement et Energie (SMSSEé)
6. Politique Santé Sécurité Environnement Energie et Prévention des Accidents Majeurs du site de Crolles
7. Les aspects environnementaux

du site de Crolles

1. Procédé de fabrication des puces front-end
2. Consommations du site

1. Volume d'eau utilisée
2. Consommations d'énergie
3. Consommation de produits chimiques
4. Les rejets aqueux

22 Collecte des rejets liquides

1. Station de traitement des effluents
2. Surveillance des rejets aqueux en sortie de station de traitement
3. Concentrations de la surveillance des rejets aqueux

26Les émissions atmosphériques

1. Les types d'émissions
2. Traitement des émissions issues du process

1. Surveillance des rejets atmosphériques

1. Contribution de Crolles au programme de neutralité carbone du groupe
2. Les déchets

1. Evolution de la quantité totale de déchets
2. Nature des déchets générés par l'activité du site
3. Réutilisation ou recyclage des déchets

1. Moyens engagés
2. Le bruit
3. Surveillance et contrôle du bruit
4. Sol et sous-sols
5. Santé - Prévention

contre la Legionella

1. Trafic routier
2. La biodiversité
3. Communication
   autour de l'environnement
4. Programmes environnementaux du site de Crolles

Eric GERONDEAU

Directeur du site

Martine DRUGES

Directrice EHS

Depuis 1995, STMicroelectronics communique sur sa politique en matière d'environnement et sur ses résultats. L'édition 2023 de la déclaration environnementale du site de Crolles illustre cette volonté de communication, de transparence et d'engagement en faveur du développement durable.

L'année 2023 a été marquée pour notre site, par la poursuite des investissements majeurs dans le cadre de sa transformation durable, en ligne avec l'objectif de l'entreprise d'atteindre la neutralité carbone* et un approvisionnement à 100% en énergie renouvelable d'ici 2027. Nous avons eu l'opportunité de présenter notre stratégie en matière de gestion de l'eau et nos résultats concrets, notamment au cours de réunions publiques, et affirmé notre ambition de réduire l'utilisation d'eau potable tout en augmentant les capacités de production, grâce à des programmes ambitieux et novateurs de réutilisation d'eau « industrielle ».

La recherche de l'Excellence, dans une démarche d'amélioration continue, s'applique

• toutes nos activités, et particulièrement aux programmes qui accompagnent le développement durable du site de Crolles, dont vous pourrez constater les résultats pour l'année 2023.

A titre d'exemples :

• Le démarrage d'une unité pilote de recyclage de 40 m3/h des eaux de rejets après traitement par notre station de Traitement des Effluents Liquides (STEL), afin de produire de l'eau ultrapure, une première en Europe.
• Le taux de recyclage de l'eau a atteint plus de 40 % grâce à des programmes de réduction structurelle de l'utilisation d'eau malgré une forte hausse de l'activité de production.
• Concernant nos émissions de CO2, l'abattement de plus de 99% de nos émissions de gaz à effet de serre (PFC) a été rendu possible par la finalisation du déploiement

d'unités de traitement spécifiques sur nos équipements de production.

• Dans le cadre de notre programme de maitrise de l'énergie, la poursuite des investissements dans des installations d'échange de chaleur (« free cooling ») et le déploiement d'éclairage LED ont permis la réduction de notre consommation d'électricité et de gaz naturel par unité de production.

Vous trouverez dans ce document, dont les informations ont été vérifiées et validées par un organisme agréé, conformément au réglement EMAS, le bilan de nos activités de l'année 2023 relatives :

• à l'utilisation de ressources naturelles et matières premières,
• à la qualité de nos rejets atmosphériques et aqueux,
• à la quantité et au mode d'élimination des déchets,
• au niveau de bruit mesuré en limite de propriété.

Nous restons à votre écoute pour toute suggestion relative à cette déclaration environnementale.

environnementale

STMICROELECTRONICS - 38926 CROLLES CEDEX

Sur ce site est appliqué un système de management environnemental, le public est informé des résultats en matière d'environnement, conformément au système communautaire de management environnemental et d'audit.

Ce document est rédigé selon la Décision (UE) n°2019/63 du 19/12/18, notamment l'article 46, et conformément à l'article 3 de l'annexe IV modifié par le règlement européeen (UE) 2018/2026.

*Sur les scopes 1 et 2 et une partie du scope 3

Présentation de STMicroelectronics

Extrait de la Charte

de développement durable 2021-2027

NOUS SOMMES DES CRÉATEURS DE TECHNOLOGIES

Nous sommes plus de 50 000 créateurs et fabricants de technologies semiconducteurs, de composants et de solutions microélectroniques, qui prennent vie grâce à nos employés, en collaboration avec nos 200 000 clients et plusieurs milliers de partenaires. Ensemble, nous concevons et construisons des produits, des solutions et des écosystèmes qui relèvent les défis de développement durable et de gestion des ressources auxquels nos clients sont confrontés, tout en les aidant à saisir les opportunités qu'ils recherchent.

Plus de 9 500 collaborateurs travaillant en R&D, nous investissons chaque année environ 12% de notre chiffre d'affaires en R&D et collaborons de façon étendue avec des laboratoires de recherche et des entreprises partenaires de premier plan dans le monde entier. Par ailleurs, nous avons investi en 2023 dans nos actifs en tant que fabricant de semiconducteurs indépendant. Nos 14 sites de production maîtrisent tous les aspects de la chaîne logistique des semiconducteurs et offrent

• nos clients la qualité, la flexibilité et la sécurité d'approvisionnement dont ils ont besoin.

ST DANS LE MONDE

• travers le monde, des sites de R&D et de production :

Plus de 50 000 employés, dont plus de 9 500 en R&D

Plus de 80 bureaux de vente et de marketing au service de plus de 200 000 clients dans le monde entier

CHIFFRE D'AFFAIRES :

17,3 MILLIARDS

DE $ EN 2023

14 sites

de production

~ 20 000 brevets

Notre charte de développement durable décrit nos engagements et nos objectifs (2021-2027). Couvrant tous les sujets liés à la durabilité, elle remplace notre précédent Décalogue Environnement Santé Sécurité.

INTRODUCTION PAR JEAN-MARC CHÉRY

Chez ST, notre engagement en faveur du développement durable fait partie de notre ADN. Il est au coeur de notre proposition de valeur vis-à-vis de toutes nos parties prenantes, et vis-à-vis des personnes, des communautés et de la société dans son ensemble. Au cours des 25 dernières années, nous avons atteint de bons résultats sur des indicateurs clés du développement durable.

Nous nous engageons à faire plus et à accélérer nos efforts - avec notamment notre engagement pour une neutralité carbone et un approvisionnement à 100% en énergie renouvelable d'ici 2027.

NOUS SOMMES LES MOTEURS DE VOTRE INNOVATION

Notre innovation et l'évolution de notre technologie reposent sur les tendances de long terme qui transforment les industries et les sociétés, ainsi que sur la nécessité de contribuer à un monde plus durable.

ST aide les constructeurs

Nous créons

des technologies pour un monde durable,

Nous donnons

la priorité à l'humain et à la planète,

Nous générons de la valeur à long terme pour toutes les parties prenantes

Ensemble, accélérons le développement durable.

La technologie améliore notre quotidien. ST fournit des semiconducteurs qui aident nos clients à contribuer positivement à la vie de chacun, aujourd'hui et demain. Nous pensons que les innovations que nous développons contribuent également à résoudre les défis environnementaux, sociaux et sociétaux mondiaux.

Notre charte de développement durable énonce les domaines clés de notre engagement et résume les principes de conduite de nos activités, ainsi que les principaux objectifs que nous avons fixés pour les années

• venir. La charte s'applique à toutes nos installations de production et sites dans le monde. Elle couvre l'ensemble de nos processus, de la conception à la production, et de l'approvisionnement à l'élimination des matériaux. Nous sommes convaincus que nous pourrons faire plus si nous agissons collectivement avec nos clients, nos partenaires, nos fournisseurs, nos employés et les principales organisations de développement durable.

Ensemble, accélérons le développement durable.

Jean-Marc Chéry

Président du Directoire et Directeur Général

De 2021 à 2027, nous adresserons 24 objectifs de développement durables, nommés

SG (Sustainibility Goals). Huit d'entre eux concernent l'environnement.

Nous sommes engagés à atteindre

la neutralité carbone, et nous partageons

ce sentiment d'urgence avec nos partenaires, encourageant les méthodes innovantes.

RÉDUIRE TOUTES LES ÉMISSIONS DE GAZ À À EFFET DE SERRE DANS NOS OPERATIONS

En réduisant de façon continue nos émissions directes en

valeur absolue autant que techniquement possible, avec un rt objectif intermédiaire de réduction de 50% d'ici 2025 par rapport

• 2018, en alignement avec le scénario 1,5°C de l'accord de Paris COP21.

En augmentant notre approvisionnement en énergie renouvelable :

• Opportunités d'installations solaires sur site,
• Contrats d'achat d'électricité verte connectée aux réseaux de nos sites,
• Achat de certificats d'énergie renouvelable.

En minimisant les émissions liées au transport par le déploiement de solutions responsables pour la logistique des produits, les voyages d'affaires et les déplacements des employés.

En compensant les émissions restantes avec des programmes de reforestation et de compensation d'ici 2027.

De plus, nous procédons au traitement de nos émissions

atmosphériques à l'aide de systèmes d'abattement appropriés afin de minimiser les impacts sur l'environnement.

Dans un monde où la consommation d'énergie est critique, nous sommes engagés dans une démarche constante d'économie d'énergie.

RÉDUIRE LA CONSOMMATION D'ÉNERGIE

En développant des projets d'économie d'énergie, tels que l'amélioration de notre efficacité énergétique à niveau de

SG9

SG9

Être neutre en carbone Être neutre en carbone d'ici 2027 pour toutes d'ici 2027 pour toutes les émissions directes et les émissions directes et indirectes des scopes 1 indirectes des scopes 1 et 2, et pour les émissions et 2, et pour les émissions du scope 3 liées au

du scope 3 liées au transport des produits, aux transport des produits, voyages d'affaires et aux aux voyages d'affaires et déplacements des employés. aux déplacements des

employés. 2027

100%

SG10

S'approvisionner à 100% en énergie renouvelable d'ici 2027 avec des achats d'énergie et des installations d'énergie verte.

SG11

Mettre en oeuvre des programmes visant à réduire la consommation d'énergie d'au moins

150 GWh par an d'ici 2027.

2025

Nous sommes responsables

et impliqués dans les défis liés à l'eau partout où nous opérons.

RÉDUIRE LA CONSOMMATION D'EAU ETET FAIRE FACE AUX RISQUES DE PÉNURIE LOCALE

En vérifiant et évaluant le stress hydrique de tous nos sites de production tout en tenant compte des contraintes locales.

En veillant à ce que toute l'eau utilisée soit traitée de manière appropriée avant d'être rejetée dans le milieu naturel.

En améliorant en permanence la gestion de l'eau dans tous

nos sites.

Ensemble, avec nos clients et nos partenaires, nous nous efforçons d'atteindre le zéro déchet; nous modélisons les changements que nous voulons voir dans le monde.

RÉDUIRE LES DÉCHETS ET PROMOUVOIR L'ÉCONOMIE CIRCULAIRE

En mettant en oeuvre des programmes pour minimiser la En mettant en oeuvre des programmes pour minimiser la consommation inutile de ressources dans l'ensemble de nos consommation inutile de ressources dans l'ensemble de nos activités.

activités.

En visant le zéro déchet dangereux en décharge, y compris là Enoù visantce n'estlepaszérounedéchetobligationdangereuxlégale:enavecdéchargerecours, yà comprisl'innovationlà oùpource n'estremplacerpas unedesobligationmatièreslégale:dangereusesavec recourset/ouà l'innovationselon u e pourapprocheremplacercirculaire,des matièresune réutilisationdangereusesautantet/ouque possibleselon une. approche circulaire, une réutilisation autant que possible.

En minimisant les déchets générés par nos activités, en

recyclant, et en mettant en place des programmes d'économie En minimisant les déchets générés par nos activités, en circulaire pour les déchets résiduels.

SG13

SG13

Améliorer l'efficacité de notre gestion de l'eau de 20% d'ici 2025

vs 2016.

SG14

Recycler au moins 50% de l'eau utilisée chaque année.

SG15

Assurer un taux annuel inférieur

• 3% de déchets mis en décharge.

SG16

Réutiliser ou recycler 95% de nos déchets d'ici 2025.

2025

95%

production équivalent ou l'optimisation des installations, des procédés industriels et de la conception de bâtiments.

En concevant et en évaluant tous les nouveaux bâtiments et sites de production selon les réglementations relatives à la construction écologique et les meilleures pratiques.

En intégrant l'efficacité énergétique comme un critère clé pour la conception et la réalisation de nouvelles installations.

20%

SG12

Réduire

la consommation d'énergie

par plaquette

de silicium de 20% en 2025 vs 2016.

recyclant, et en mettant en place des programmes d'économie circulaire pour les déchets résiduels.

Informations générales sur le site de Crolles

Les sites de Crolles et de Grenoble emploient 7400 salariés. Ainsi, ST est le premier employeur privé de l'Isère.

EFFECTIF DU SITE

LE SITE DE CROLLES

EN QUELQUES CHIFFRES

Créateurs et fabricants de produits

et solutions qui répondent aux grands défis sociétaux liés au changement climatique, à la décarbonation

et à la digitalisation

Depuis 1992, le site de Crolles est à la fois un centre de R&D et de production industrielle de puces électroniques intégrées sur des plaquettes de silicium.

LES MISSIONS DU SITE

DE CROLLES

Deux usines de production

5 049

salariés en 2023

35 000 m2

Superficie Salle blanche

50 ha

de superficie globale

CONCEVOIR, DÉVELOPPER

ET PRODUIRE DES TECHNOLOGIES

Pour des applications dans les domaines du Smart Driving, et des objets connectés IOT, basés sur des microcontroleurs, capteurs d'image, ainsi que les technologies CMOS différenciées.

RÉPONDRE AUX ATTENTES DES CLIENTS

En leur offrant un niveau de qualité et de service de classe mondiale pour le prototypage et la production en 200 mm et 300 mm, grâce à ses 2 usines.

• Des équipements à la pointe de la technologie
• Travail plus manuel
• Adresse des technologies bien spécifiques

Production des plaquettes 200 mm

Une des salles blanches les plus modernes et performantes au monde

Système de transport automatisé au plafond

Production des plaquettes 300 mm

ST Crolles joue un rôle moteur au niveau régional et national et promeut l'excellence durable.

EXIGENCES RÉGLEMENTAIRES

ARRÊTÉ PRÉFECTORAL D'AUTORISATION D'EXPLOITER

Le site STMicroelectronics de Crolles est une Installation Classée pour la Protection de l'Environnement (ICPE) et

• ce titre est soumis à l'arrêté préfectoral d'autorisation d'exploiter n°DDPP-ENV-2016-05-23 et ses deux arretés préféctoraux complémentaires DDPP-DREAL-UD-38-2022-03-04 et DDPP-DREAL-UD-38-2022-03-08. Ces arretés décrivent toutes les prescriptions applicables
• l'ensemble du site de Crolles vis-à-vis des aspects environnementaux suivants :

• Utilisation d'eau
• Emploi et stockage de produits chimiques liquides et gazeux
• Puissance des installations de combustion, de réfrigération ou de compression
• Rejets liquides
• Émissions atmosphériques
• Surveillance des sols et sous-sols

Les textes réglementaires font l'objet d'une veille permanente. Toute évolution ou nouvelle réglementation applicable est déployée sur le site.

LE SITE DE CROLLES EST UNE ICPE

Le site de Crolles est classé Seveso

• seuil haut » par son arrêté préfectoral d 'autorisation d'exploiter.

Les activités du site de Crolles sont opérées par les 2 entités juridiques suivantes :

STMicroelectronics France SAS

et STMicroelectronics (Crolles 2) SAS

850, rue Jean Monnet 38926 Crolles Cedex

2 ENTITÉS JURIDIQUES, 1 SITE COMMUN

Activités

Substances et mélanges liquides de toxicité aiguë catégorie 1

Substances et mélanges liquides de toxicité aiguë catégorie 2

Emploi des gaz à effet de serre fluorés ou substances appauvrissant la couche d'ozone

Emploi ou stockage de Soude

Fabrication en quantité industrielle de fluor

Traitement de surface à l'aide de solvants organiques

Gaz ou gaz liquéfiés de toxicité aiguë catégorie 1

Substances et mélanges liquides.

Toxicité aiguë catégorie 3 pour les voies d'exposition par inhalation

Chlore

Hydrogène

Chlorure d'hydrogène (gaz liquéfié)

Installations de Combustion (gaz naturel/FOD)

Installations de refroidissement évaporatif par dispersion d'eau dans un flux d'air généré par ventilation mécanique ou naturelle.

Liquides inflammables de catégorie 2 ou catégorie 3 à l'exclusion de la rubrique 4330.

Traitement de surfaces par voie électrolytique ou chimique : Procédés utilisant des liquides (sans cadmium)

Emploi des Gaz à Effet de Serre Fluorés ou substances qui appauvrissent la couche d'ozone : Dans les équipements frigorifiques ou climatiques

Production industrielle par trempe, recuit ou revenu de métaux & alliages

Nettoyage, dégraissage, décapage de surfaces quelconque par des procédés utilisant des solvants organiques

Traitement de surfaces par voie électrolytique ou chimique :Traitement en phase gazeuse

Liquides inflammables de catégorie 1

Produits dangereux pour l'environnement aquatique de catégorie aiguë 1 ou chronique 1.

Produits dangereux pour l'environnement aquatique de catégorie chronique 2.

Produits pétroliers spécifiques et carburants de substitution (Fioul)

Ammoniac

Emploi des Gaz à Effet de Serre Fluorés ou substances qui appauvrissent la couche d'ozone : Dans les équipements d'extinction

Emploi des Gaz à Effet de Serre Fluorés ou substances qui appauvrissent la couche d'ozone : Hexafluorure de soufre

Gaz et gaz liquéfiés.

• Toxicité aiguë catégorie 2 pour l'une au moins des voies d'exposition
• Toxicité aiguë catégorie 3 pour les voies d'exposition par inhalation

Liquides comburants catégories 1, 2 ou 3.

Gaz comburants catégorie 1.

Oxygène

Arsine (trihydrure d'arsenic)

Phosphine (trihydrure de phosphore)

Rubrique

ICPE

4110-2a

4120-2a

1185-1a

1630-1

3420-a

3670

4110-3a

4130-2a

4710-1

4715-1

4716-1

2910-A1

2921-a

4331-2

2565-2a

1185-2a

2561

2564-1c

2565-3

4330-2

4510-2

4511-2

4734-2c

4735-1b

4735-2b

1185-2b

1185-3-2

4120-3b

4130-3b

4441-2

4442-2

4725-2

4728-2

4729-2

Classement *

A

seuil haut

A

seuil bas

A

A

A

A

A

A

A

A

A

E

E

E

E

DC

DC

DC

DC

DC

DC

DC

DC

DC

D

D

D

D

D

D

D

D

LE SYSTÈME

DE MANAGEMENT SANTÉ, SÉCURITÉ, ENVIRONNEMENT ET ÉNERGIE

DOMAINE D'APPLICATION

Le Système de Management de la Santé, Sécurité, Environnement et Energie (SMSSEé) mis en place par le site STMicroelectronics de Crolles, conformément aux exigences des

LES RECONNAISSANCES SANTÉ SÉCURITÉ ENVIRONNEMENT

ET ÉNERGIE DU SITE

Politique Santé Sécurité Environnement Énergie

et Prévention des Accidents Majeurs du site de Crolles

Le Système de Management Santé, Sécurité, Environnement et Energie (SMSSEé) du site de Crolles est déployé sous l'impulsion de la Direction du site et de la Directrice ESH.

Un manuel, des procédures et des programmes structurent les composantes de ce système et de sa politique.

normes ISO 14001, ISO 14064, ISO 45001 et ISO 50001 et du règlement EMAS, s'applique

• l'ensemble des activités mises en œuvre sur le site : conception, développement et fabrication de circuits intégrés. Le management de l'énergie s'applique quant à lui aux énergies primaires du site (électricité et gaz naturel).

Ces activités permanentes, provisoires et/ou

Le site de Crolles est :

• enregistré EMAS FR.S.002 depuis le 25 janvier 1996.
• certifié ISO 14001 depuis

le 6 décembre 1997.

• certifié ISO 45001 depuis le 23 juin 2020 (OHSAS 18001 de 2003 à 2020).
• certifié ISO 50001 depuis le 19 avril 2013.
• certifié ISO 14064 depuis 2020.

Le site STMicroelectronics de Crolles conçoit, développe et fabrique des circuits intégrés sur plaquettes de silicium de diamètres 200 mm et 300 mm. Sur notre site industriel classé Seveso Haut, dans un contexte d'augmentation de capacité de production et d'exigences réglementaires, nous sommes vigilants et conscients de notre responsabilité à :

1. Préserver et garantir la Santé et la Sécurité de toute personne présente sur le site et des populations voisines
2. Garantir la protection de l'Environnement, la prévention des pollutions et la préservation des ressources

Depuis de nombreuses années, le site est engagé dans un processus d'amélioration continue de ses performances conformément aux normes ISO 45001, ISO 14001, ISO 14064, ISO 50001, et au règlement EMAS.

Nous nous engageons donc à :

Eric GERONDEAU Directeur de site

Martine DRUGES EHS

Fabrice BISIAUX Facilities

Les certifications associées s'inscrivent dans une démarche volontaire et se base sur une dé- marche d'amélioration continue des résultatsenmatièred'environnement et de santé-sécurité au travail : identification, anticipation et maîtrise des impacts du site sur l'enviro- nnement et la consommation d'éner- gie, et des risques pour la santé et la sécurité du personnel.

Le SMSSEé intègre les enjeux externes et internes de l'entreprise : augmentation de l'activité du site, évolution ICPE, conditions environnementales locales (consommations et rejets) et les besoins et attentes des parties prenantes (Autorités, collectivités, sous- traitants, clients, collaborateurs, riverains …).

Au sein de STMicroelectronics Crolles, la sécurité et l'impact environnemental de nos activités sont l'affaire de tous et font l'objet de projets participatifs et innovants.

STMICROELECTRONICS CROLLES

850 RUE JEAN MONNET

38926 CROLLES CEDEX FRANCE

Bureau Veritas Certification France certifie que le système de management de l'organisme susmentionné a été audité et jugé conforme aux exigences de la norme :

ISO 14001:2015

Domaine d'activité

CONCEPTİON, DÉVELOPPEMENT ET PRODUCTİON DE TECHNOLOGİES ET DE BLOCS ET OUTİLS DE CONCEPTİON ASSOCİÉS.

FABRİCATİON DE PROTOTYPES ET DE CİRCUİTS İNTÉGRÉS EN CMOS ET EN TECHNOLOGİES DÉRİVÉES SUR PLAQUETTES SİLİCİUM DE 200 ET 300 MM.

DESİGN, DEVELOPMENT AND MANUFACTURİNG TECHNOLOGİES AND ASSOCİATED BLOCKS AND DESİGN TOOLS.

PROTOTYPİNG AND PRODUCTİON OF İNTEGRATED CİRCUİTS BASED ON CMOS AND DERİVATİVE TECHNOLOGİES ON 200 AND 300 MM SİLİCON WAFERS.

Date de début du cycle de certification : 04 juillet 2023

Sous réserve du respect des dispositions contractuelles et des résultats positifs des surveillances réalisées, ce certificat est valable jusqu'au : 03 juillet 2026 Date d'expiration du cycle précédent : 03 juillet 2023

Date d'audit de certification/recertification : 17 mars 2023

Date de certification originale : 03 juillet 2002

STMICROELECTRONICS CROLLES

850 RUE JEAN MONNET

38926 CROLLES CEDEX

FRANCE

Bureau Veritas Certification France certifie que le système de management de l'organisme

susmentionné a été audité et jugé conforme aux exigences de la norme :

Standard

ISO 45001:2018

Domaine d'activité

CONCEPTİON, DÉVELOPPEMENT ET PRODUCTİON DE TECHNOLOGİES

ET DE BLOCS ET OUTİLS DE CONCEPTİON ASSOCİÉS.

FABRİCATİON DE PROTOTYPES ET DE CİRCUİTS İNTÉGRÉS EN CMOS

ET EN TECHNOLOGİES DÉRİVÉES SUR PLAQUETTES SİLİCİUM DE 200 ET 300 MM.

DESİGN, DEVELOPMENT AND MANUFACTURİNG TECHNOLOGİES

AND ASSOCİATED BLOCKS AND DESİGN TOOLS.

PROTOTYPİNG AND PRODUCTİON OF İNTEGRATED CİRCUİTS BASED

ON CMOS AND DERİVATİVE TECHNOLOGİES ON 200 AND 300 MM SİLİCON WAFERS.

Date de début du cycle de certification : 23 juin 2023

Sous réserve du respect des dispositions contractuelles et des résultats positifs des surveillances réalisées, ce certificat est valable jusqu'au : 22 juin 2026

Date d'expiration du cycle précédent : 22 juin 2023

Date d'audit de certification/recertification : 17 mars 2023

Date originale de certification : 23 juin 2020

Certificat n°: FR081433

Certificat d'enregistrement EMAS

ST MICROELECTRONICS

Pour le(s) site(s) de :

à la vérification de son système de management environnemental et à la validation de sa déclaration environnementale publique par un vérificateur accrédité, elle bénéficie d'un enregistrement EMAS et peut en conséquence faire usage du logo EMAS.

Paris La Défense, le : 11/09/2023

Julie HANOT

Sous-directrice des entreprises

Service de l'économie verte et solidaire

Commissariat général au développement durable

STMICROELECTRONICS CROLLES

850 RUE JEAN MONNET - 38920 CROLLES - FRANCE

Bureau Veritas Certification certifie que le système de management de l'organisme

susmentionné a été audité et jugé conforme aux exigences de la norme :

Standard

ISO 50001 : 2018

Domaine d'activité

CONCEPTION, DEVELOPPEMENT ET FABRICATION

DE CIRCUITS INTEGRES ENCMOS, BICMOS ET TECHNOLOGIES DERIVEES SUR PLAQUETTES DE SILICIUM DE 200 MM ET 300 MM.

DESIGN, DEVELOPMENT AND MANUFACTURING

OF INTEGRATED CIRCUITS CMOS, BICMOS AND DERIVATIVE TECHNOLOGIES ON 200 MM AND 300 MM SILICON WAFERS.

Date d'entrée en vigueur : 10 avril 2022

Sous réserve du fonctionnement continu et satisfaisant du système de management de l'organisme, ce certificat est valable jusqu'au : 09 avril 2025

Date originale de certification : 10 avril 2019

Laurent CROGUENNEC - Président

Nos principaux axes de travail pour 2024 sont :

Frédéric BONTAZ

DRH

Pierre CHABERT

Contrôle de gestion

Sophie BRUNAUD

Médecin du travail

Jean-Philippe LANDAIS

Site Transformation

& Sustainability

François DURAND

Digital Information Technology

Patrice KAUFFMANN

GLWO

CYCLE DU SYSTÈME DE MANAGEMENT SANTÉ, SÉCURITÉ,

ENVIRONNEMENT ET ÉNERGIE DU SITE DE CROLLES

DOMAINE D'APPLICATION DU SMSSEÉ

CONTEXTEPlanifier

Vérifier

ainsi que nos émissions de PFC et de CO2 et nos volumes de déchets par unité produite

• 1. Encourager l'achat de produits, d'installations et de services à faible impact (énergie et émissions)
  2. Poursuivre nos actions pour la préservation de la biodiversité
• Réduire l'utilisation d'eau potable du site tout en augmentant notre capacité de production, en déployant des solutions de recyclage d'eau innovantes notamment pour la production d'eau ultra-pure
• Faire évoluer nos installations de traitement des effluents aqueux et atmosphériques en utilisant les meilleures techniques disponibles pour atteindre l'excellence en termes de rejets
• Solliciter les salariés via des enquêtes ou des participations aux programmes pour faire émerger les idées
• Participer aux actions locales et partager les bonnes pratiques avec d'autres acteurs industriels
• Valoriser les programmes & initiatives par des actions de communication interne et/ou externe à l'entreprise

La participation de l'ensemble du personnel et de ses représentants, des intervenants extérieurs, des soustraitants, des fournisseurs et de nos partenaires est un élément clef de la réussite de cette démarche ; aussi tenons-nousla présente politique à la disposition de toutes les parties intéressées.

La Direction du site encourage toute initiative contribuant à la mise en œuvre de cette politique et s'engage

• mobiliser les moyens nécessaires pour atteindre ses objectifs d'amélioration continue, tout en respectant les règles du « techniquement et économiquement acceptable ».

Cette politique sera revue et modifiée si besoin, lors de la revue de Direction annuelle.

FEVRIER 2024

Richard KOLIC

Digital FEM TR&D Operations

Laurent MALIER

Digital Front -End

Manufacturing & Technology

Roberto MIONETTO

Achats

Kristen ROCHEREAU

Technology and

Design Platforms

Corinne RUIZ

Communication

La production de semi-conducteurs nécessite :

• de l'eau
• de l'électricité et du gaz des matières premières
• des produits chimiques,

Pour faire fonctionner les unités de production, les services techniques sont chargés de distribuer l'électri- cité, l'eau, les produits chimiques liquides et gazeux.

Après avoir été utilisés, les produits sont traités soit sur le site, soit par une entreprise agréée selon la nature du rejet ou du déchet.

DESCRIPTION DU SITE

Le site est décomposé en plusieurs zones :

• Bâtiments d'activités industrielles : Fabrication et Centres Techniques
• Locaux de distribution de gaz process
• Locaux de distribution centralisée de produits chimiques
• Aires de stockages (gaz et eau incendie)
• Stations de traitement des effluents liquides (STEL)
• Bassin de collecte des eaux incendie
• Bâtiments bureaux
• Bâtiment de restauration
• Surfaces de parkings et voiries
• Ratio surfaces impérméabilisées : 77% en 2023 77% en 2022

Eau

Électricité

Biodiversité

Trafiic routier

Rejets aqueux

Rejets atmosphériques

Déchets

CH4

Gaz

Impacts sonores

Impacts

visuels

Sols

et sous-sols

Procédé de fabrication des puces Front-End

Les consommations du site

Les plaquettes de silicium vierges (wafers) arrivent à ST où elles serviront de base à la création des puces.

La plaquette va alors suivre un long cheminement dans la salle blanche via les différents ateliers.

ÉTAPES DE FABRICATION

Les procédés de fabrication des plaquettes restent fondés sur plusieurs étapes principales qui sont répétées plusieurs dizaines de fois.

Plus la technologie est avancée, plus le nombre de niveaux de masquage augmente et plus les dimensions critiques des circuits sont fines.

Atelier Photolithographie

La photolithographie permet de dessiner à la surface du substrat la géométrie des composants. Elle définit des zones pour les opérations technologiques suivantes.

Atelier Traitements Thermiques

Fabrication de couches de matières isolantes sur toute la plaquette par dépôt ou oxydation dans des fours, où des gaz sont injectés à hautes températures.

Atelier Métal

Dépôt de couches conductrices qui permettront de relier les composants entre eux pour assurer les fonctions électriques voulues.

Atelier Dépôts - CVD - (Chemical Vapor Deposition)

Dépôts de matières isolantes à la surface de la plaquette par méthode CVD à basse température pour l'isolation des couches métalliques notamment.

Atelier Gravure

La gravure permet d'enlever de la matière sélectivement. Elle intervient le plus souvent après la photolithographie.

Atelier Implantation

Réalisation d'implantations dans une couche de silicium d'ions spécifiques afin d'en contrôler la conductivité.

Atelier - CMP - (Chemical Mechanical Polishing)

Polissage mécano-chimique de la plaquette afin de réduire l'épaisseur des dépôts ou de planariser les couches.

Qualification Electrique

Tests électriques sur des composants unitaires.

Mise à épaisseur

Mise à épaisseur des plaquettes de silicium après les étapes de process.

Zone 3DI

Intégration 3D des composants.

Zone colorisation

Dépôt de filtres rouge, vert et bleu sur les capteurs d'images noir et blanc pour faire des images couleurs.

Nos consommations sont exprimées en valeur absolue d'une part, et par plaquette équivalente d'autre part.

La plaquette équivalente de diamètre 200 mm et de 20 niveaux de masques (étapes de photolithographie) correspond à l'unité standard de production fixée par notre compagnie.

VOLUME D'EAU UTILISÉE

Le site de Crolles utilise l'eau distribuée par les Eaux de Grenoble Alpes et la Communauté de Communes Le Grésivaudan (CCLG)

L'eau est principalement utilisée pour les besoins industriels de :

•  Production d'eau ultra pure pour le rinçage des plaquettes de silicium

• Alimentation des laveurs de gaz et des tours aéroréfrigérantes.

Le site de Crolles mène depuis plusieurs années un programme visant à réduire le besoin d'eau pour la fabrication des puces. Il est basé sur 4 piliers :

1. Maitriser la consommation, en s'assurant que chaque installation et équipement de production utilise la juste quantité d'eau
2. Contrôler, afiin d'éviter toute dérive de consommation
3. Réduire le besoin d'eau en optimisant le fonctionnement des installations techniques et des équipements de production
4. Recycler ou réutiliser

Grâce aux différents groupes de travail multi- services, le ratio de consommation d'eau par unité de production a diminué de 45% entre 2016 et 2023. En moyenne sur 2023, 41% de l'eau utilisée est recyclée.

En 2023, l'augmentation de l'utilisation d'eau en valeur absolue est expliquée par l'installation de nouveaux équipements pour l'augmentation d'activité de production.

En parrallèle, plusieurs actions de réduction et de recyclage ont permis de modérer la hausse de 32m3/h.

UTILISATION D'EAU DU SITE

CRÉER UNE EAU ULTRA PURE

EN RÉUTILISANT DES EFFLUENTS FINAUX

Afiin de réduire l'utilisation de l'eau potable à des fiins industrielles, le site de Crolles a démarré une ligne pilote pour recycler une partie des rejets aqueux fiinaux de la nouvelle unité de traitement des efflluents industriels et les ré-utiliser dans la fabrication d'eau adoucie et d'eau ultra-pure. Ce projet innovant dans l'industrie européenne des semi-conducteurs permettra de recycler jusqu'à 40m3/h d'eau.

Depuis fiin 2023, 15m3/h sont déjà recyclés pour alimenter les boucles d'eau adoucie. La qualifiication pour l'eau ultra-pure devrait être effective au deuxième trimestre 2024. Ce n'est que la première étape d'un projet plus ambitieux, qui devrait aboutir au doublement de la capacité de recyclage des efflluents en 2025, et potentiellement la création d'une unité spécifiique qui accompagnera les futures extensions du site.