Actionnariat VM Inc.

VM Inc, anciennement Adaptive Plasma Technology Corp, est une société basée en Corée dont l'activité principale est la fabrication et la vente d'équipements de gravure utilisés dans la fabrication de semi-conducteurs. Le profil des produits de la société comprend des graveurs à sec, des graveurs de diodes électroluminescentes (DEL), des graveurs de via de silicium (TSV), des systèmes de dopage au plasma, des systèmes de sciage au plasma et d'autres. Les graveurs à sec comprennent les graveurs d'oxyde, les graveurs de polysilicium (Poly) et les graveurs de métal. Le principal produit est le système de gravure sur poly de 300 mm, qui comprend un port de chargement, un module frontal d'équipement (EFEM), un module tampon (BM), un module de transfert (TM) et un module de traitement (PM).