Axcelis Technologies, Inc. annonce plusieurs livraisons d'implanteurs de 150 mm " Purion M SiC Power Series " à d'importants fabricants d'appareils de puissance en Chine

Axcelis Technologies, Inc. conçoit, fabrique et entretient des équipements d'implantation ionique et d'autres équipements de traitement utilisés dans la fabrication de puces à semi-conducteurs. La société propose une gamme complète d'implanteurs à haute énergie, à courant élevé et à courant moyen pour toutes les exigences d'application. En plus de l'équipement, la société fournit des produits et des services complets de cycle de vie après-vente, y compris des outils usagés, des pièces de rechange, des mises à niveau d'équipement, des services de maintenance et des formations pour les clients. Ses systèmes phares Purion sont tous basés sur une plate-forme commune, qui permet de combiner pureté, précision et productivité des implants. Combinant une station d'extrémité de tranche unique, avec des architectures de faisceau ponctuel avancées (qui garantissent que tous les points de la tranche voient la même condition de faisceau au même angle de faisceau), les produits Purion permettent le contrôle du processus pour optimiser les performances et le rendement des dispositifs, à une productivité élevée. La société vend ses produits aux fabricants de puces à semi-conducteurs du monde entier.