Nova Ltd. annonce qu'elle a reçu plusieurs commandes de clients importants pour des solutions de contrôle de processus pour la fabrication de dispositifs Gate-All-Around (GAA). Les commandes portent sur des solutions de métrologie dimensionnelle, de métrologie des matériaux et de métrologie chimique. La société prévoit de les livrer au cours des 12 prochains mois, et d'autres commandes devraient suivre au fur et à mesure que la GAA progressera vers la production en grand volume.

Le portefeuille étendu de Nova permet aux clients d'obtenir des informations plus approfondies sur les structures complexes des semi-conducteurs, en offrant une perspective plus large sur les dimensions géométriques, les propriétés des matériaux et l'analyse chimique. La société est engagée ou a reçu des commandes de la part de grands fabricants en transition vers la GAA, ce qui confirme la valeur unique de son portefeuille. Alors que l'industrie des semi-conducteurs s'oriente vers des nœuds technologiques avancés très attendus, de nouveaux défis apparaissent au niveau des processus.

Le délai de production devient critique, en conflit avec un nombre croissant d'étapes de processus, un échantillonnage plus élevé et une tolérance d'erreur plus faible. Ce conflit est encore compliqué par la nécessité de mesurer sur l'appareil et dans la matrice, car les structures d'essai ne sont plus représentatives du processus réel. En outre, l'abondance de nouveaux matériaux introduits dans le processus nécessite un contrôle en ligne des paramètres.

Pour répondre à ces besoins, les solutions de contrôle des processus doivent prendre en compte les structures 3D complexes, les nouveaux matériaux, les couches supplémentaires et davantage de paramètres physiques et chimiques en ligne.