Revasum annonce la sortie d'un kit de conversion 200 mm pour sa plateforme de polissage chimico-mécanique (CMP) 6EZ en carbure de silicium (SiC)
Le 06 juillet 2023 à 02:53
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Revasum a annoncé la disponibilité d'une capacité de polissage de plaquettes de SiC de 200 mm sur la plate-forme 6EZ. La 6EZ a déjà prouvé sa valeur dans la fabrication en grand volume de substrats SiC de 150 mm et un kit de conversion de 200 mm a maintenant été entièrement testé et mis sur le marché, offrant aux clients la possibilité de mettre à niveau les systèmes 6EZ sur le terrain. Le 6EZ est le premier outil de CMP à plaquette unique conçu dès le départ pour le polissage des plaquettes de SiC.
L'architecture du 6EZ, associée à une technologie de refroidissement brevetée, permet d'obtenir une force descendante et des vitesses de table plus élevées, ce qui est préférable pour le CMP de matériaux durs tels que le SiC. La conception exclusive du support ViPRR sécurise la plaquette tout en minimisant la friction de polissage sur le tampon, ce qui permet de réduire le conditionnement du tampon, d'améliorer la cohérence entre les plaquettes et de prolonger la durée de vie des consommables.
Revasum, Inc. conçoit, fabrique et commercialise un portefeuille d'équipements de traitement des semi-conducteurs (également appelés systèmes). Les systèmes fabriqués par la société font partie intégrante de la chaîne de production pour la fabrication et le traitement de plaquettes de 200 mm et moins. Ces plaquettes sont utilisées pour fabriquer des micropuces, des capteurs, des diodes électroluminescentes (LED), des dispositifs de radiofréquence (RF) et des dispositifs d'alimentation, utilisés dans les dispositifs connectés de l'Internet des objets (IoT), les téléphones mobiles, les wearables, l'automobile, la 5G et les applications industrielles. Son portefeuille de produits comprend des équipements de meulage, de polissage et de planarisation chimico-mécanique (CMP) utilisés pour fabriquer des substrats et des dispositifs pour l'industrie mondiale des semi-conducteurs. Ses solutions d'équipement comprennent la polisseuse 6EZ, la rectifieuse 7AF-HMG et l'équipement réusiné. La polisseuse 6EZ est une polisseuse automatisée pour une seule plaquette, avec séchage à l'intérieur et à l'extérieur, conçue spécifiquement pour le carbure de silicium (SiC). L'entreprise est présente aux États-Unis, en Chine, en Europe, au Japon, en Corée et à Taïwan.
REVASUM, INC. 
